PLASMATECHNIK (OBERFLÄCHENBESCHICHTUNG).
Es wird ein Gas [ z. B. Hexamethyldisiloxan (HMDSN), Hexamethyldisilazan (HMDSN), Tetraethylenglykol-dimethyl ether, C2F6 ...] in die Plasmakammer eingeleitet. Durch Plasmapolymerisation werden auf der Oberfläche Schichten abgeschieden.
Anwendungen: Abscheiden von hydrophoben Schichten; Abscheiden von hydrophilen Schichten; Einsatz z.B. als Diffusionssperre. Bauteile: Feinmechanische Getriebe; Geschirrspülmaschinen; Medizinische Geräte; Scheinwerferreflektoren; Videoköpfe usw.
Anwender: Biochiphersteller; Feinmechaniker; Geschirrspülmaschinen-Hersteller; Medizintechnik; Sensorenhersteller; Textilhersteller; Uhrenhersteller.
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