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26 Vorrichtung nach einem der Ansprüche 16 bis 25, dadurch gekennzeichnet, daß in der Vakuumkammer in Bereichen von Vorrichtungskomponenten, in denen sich aufgrund ihres Potentiales parasitäre Entladungen ausbilden können, oder um Substrat 1 und Entladungsbereich 2 Abschirmelemente angeordnet sind und diese Abschirmelemente von den Vorrichtungskomponenten und dem Substrat 1 elektrisch isoliert sind.
Prüfling aus Kunststoff gefräst. Vorrichtungskomponenten-01 03 2009. Aufnahme von elektronischen Bauteilen für Prüfungen;Präzise aus Kunststoff gefertigt. Seite:0 1. Hauptstr. 74 49457 Drebber Telefon 05445/984097 Fax 05445/984098 .
Liste der ausgewählten Produkte:22-31-01-90. Geländer nicht klassifiziert. 22-31-01-91. Geländer Teile. 22-30-90-90. Treppenkonstruktion Bauelement, Sonstige, nicht klassifiziert. 21-12-01-90. Vorrichtungskomponente nicht klassifiziert. - Vorrichtung Sonstige, nicht klassifiziert. 21-12-98-01. Vorrichtungskomponente Wartung, Inspektion. 21-12-98-02. Sondervorrichtung Wartung, Inspektion. 21-12-98-03. Spann-und Verschlussvorrichtung Freileitung, Wartung, Inspektion. 21-12-98-90. Vorrichtung Wartung, Inspektion, nicht klassifiziert.
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