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4 Einrichtung nach mindestens einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekenn zeichnet, dass in einer Wandung des Rezipienten ein Vakuumflansch angeordnet ist, der die Montage von Mitteln für eine insitu Messung eines Plasmaparameters oder einer Schichteigenschaft ermöglicht. - Insbesondere für Forschungs-und Entwicklungsaufgaben hat die erfindungsgemäße Ein-richtung vorteilhafterweise mindestens einen weiteren Vakuumflansch zur Montage von Mitteln zur in-situ-Messung eines Plasmaparameters wie z.
Ein Nadelventil am Vakuumflansch erlaubt fein kontrollierte Zufuhr von Gas oder Wasserdampf in die eigentliche Heizungskammer, während des Heizvorganges. Diese kleine Kammer kann mit einem motorangetriebenen Deckel unter Vakuum geöffnet und geschlossen werden, um die Umgebung während des Heizversuchs zu schützen. - Das Heizelement im Inneren baut keine elektrischen Felder auf, die den Elektronenstrahl bei der Abbildung stören. Vakuumflansch und Befestigungsteile gehören zum Lieferumfang.
Academic dictionaries and encyclopedias die Suche im Brauzer hinzufügenexport der Wörterbücher auf eigene Seite http . Übersetzungen Erklärungen Alle Wörterbücher interface für die Übersetzer. Deutsch Wikipedia. Vakuumflansch Vakuumflansche dienen der lösbaren Verbindung von Vakuumgefäßen. Je nach Anforderung bezüglich Dichtigkeit, Ausheizbarkeit, Stabilität, Korrosionsfestigkeit und Durchmesser stehen verschiedene genormte Teile zur Verfügung. Inhaltsverzeichnis. 1 Arten von Flanschen 1 1 Kleinflansche.
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